Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=пленки нитрида алюминия<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар15-548

Мороз, А. В.
Система комплексного контроля параметров пленок нитрида алюминия, получаемых методом магнетронного распыления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 / А. В. Мороз. - Казань, 2014. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-16. - 100 экз.

ГРНТИ	53.49.15
УДК	669.017:539.216.3(043)

Кл.слова (ненормированные):
пленки нитрида алюминия -- магнетронное распыление -- контроль

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)