Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=плазменное травление<.>)

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

Ар10-27389

Смирнов, А. А.
Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-м ат. наук : 02.00.04 / А. А. Смирнов. - Иваново, 2010. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (11 назв.)

ГРНТИ	47.13.33
УДК	621.3.049.771.14-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- плазменное травление -- галогенводороды -- аргон -- гелий -- водород -- неравновесная низкотемпературная плазма -- физико-химические процессы -- моделирование

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар11-7956

Волошин, Д. Г.
Исследование процессов в плазме высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной и двух частотах [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / Д. Г. Волошин. - М., 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23
В надзаг.: МГУ им. М.В. Ломоносова, НИИ ядерной физики им. Д.В. Скобельцына

ГРНТИ	55.20.15
УДК	621.9.048.7(043)

Кл.слова (ненормированные):
материалы -- плазменное травление -- плазмохимические процессы -- кинетика ионов -- кинетика электронов

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар12-22890

Капинос, С. П.
Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия [Текст] : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.04 / С. П. Капинос. - Иваново, 2012. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (9 назв.)

ГРНТИ	47.13.33
УДК	621.315.592:621.794(043)

Кл.слова (ненормированные):
арсенид галлия -- плазменное травление

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)