Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=оксид тантала<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар11-25020

Комлев, А. Е.
Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. Е. Комлев. - СПб., 2011. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (24 назв.)

ГРНТИ	47.13
УДК	621.38-416(043)

Кл.слова (ненормированные):
оксид тантала -- пленки -- осаждение -- магнетронное распыление -- электроника пленочная

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)