Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=кинетика электронов<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар11-7956

Волошин, Д. Г.
Исследование процессов в плазме высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной и двух частотах [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / Д. Г. Волошин. - М., 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23
В надзаг.: МГУ им. М.В. Ломоносова, НИИ ядерной физики им. Д.В. Скобельцына

ГРНТИ	55.20.15
УДК	621.9.048.7(043)

Кл.слова (ненормированные):
материалы -- плазменное травление -- плазмохимические процессы -- кинетика ионов -- кинетика электронов

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)