Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=ионная имплантация примесей<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар14-1939

Гуськова, О. П.
Механизмы влияния ионной имплантации кремния, германия и фтора на свойства композиции SiO2/Si при воздействии ионизирующего излучения [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / О. П. Гуськова. - Н.Новгород, 2013. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-18. - 100 экз.

ГРНТИ	47.33
УДК	621.315.592.9:539.16(043)

Кл.слова (ненормированные):
моп-структуры -- влияние ионизирующих излучений -- ионная имплантация примесей

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)