Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=вакуумная химическая эпитаксия<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар13-11548

Смыслова, Т. Н.
Особенности взаимодействия молекулярных пучков с поверхностью кремния в условиях выращивания слоев методом вакуумной химической эпитаксии [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / Т. Н. Смыслова. - Н.Новгород, 2013. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-5

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.315.592.9-047.56(043)

Кл.слова (ненормированные):
кремниевые структуры -- вакуумная химическая эпитаксия

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)