Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.38-022.532:620.179(043)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар12-18732

Орликовский, Н. А.
Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / Н. А. Орликовский. - М., 2012. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 25 (16 назв.)

ГРНТИ	47.01.81
УДК	621.3.049.76:620.179(043)	621.38-022.532:620.179(043)

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные приборы -- наноэлектронные приборы -- дефектоскопия

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)