Поисковый запрос: (<.>U=621.31-181.4(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 10
Показаны документы с 1 по 10 |
1. 
| АР02-сф334
Шелепин, Н. А.
Элементная база и технология изготовления кремниевых микроэлектромеханических систем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / Н. А. Шелепин. - М., 2002. - 38 с. : ил.
Библиогр.: с. 32-38(54 назв.)
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
2.
| Ар05-1834
Пурцхванидзе, И. А.
Конструктивно-технологический базис кремниевых микрофлюидных электромеханических систем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / И. А. Пурцхванидзе. - М., 2004. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 31-32.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| Ар07-сф79
Терашкевич, И. М.
Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / И. М. Терашкевич. - М., 2006. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-25
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
4.
| Ар07-12757
Попов, А. М.
Свойства углеродных наноструктур и наноэлектромеханические системы на их основе [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.02 / А. М. Попов. - Троицк, 2007. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-26(32 назв.)
В надзаг.:Рос. АН, Ин-т спектроскопии
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| Ар07-11744
Федотов, А. А.
Разработка элементов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок и технологии их изготовления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. А. Федотов. - Таганрог, 2007. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| Ар07-15644
Кривошеева, А. Н.
Пассивные и активные мембраны для устройств микросистемной техники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. Н. Кривошеева. - СПб., 2007. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16(5 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| Ар09-сф34
Калугин, В. В.
Физико-технологические основы получения многослойных структур для ИС и элементов МЭМС [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / В. В. Калугин. - М., 2008. - 41 с. : ил. - Библиогр.: с. 31-41(85 назв.)
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
8.
| Ар09-4575
Бритков, О. М.
Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / О. М. Бритков. - М., 2009. - 34 с. : ил. - Библиогр.: с. 32-33(14 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| Ар10-1718
Горячев, А. В.
Магнитные и деформационные процессы в полупроводниковых структурах с магнитными слоями для микромеханических устройств [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / А. В. Горячев. - М., 2009. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-24
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| Ар13-8226
Степанов, А. С.
Разработка моделей и исследование динамики микромеханических устройств с электростатическим накатом упругих лент [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.02.06 / А. С. Степанов. - М., 2013. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (17 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы -- реверсивные микродвигатели вращения -- сенсорные устройства
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных