Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14-047.84(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 10
Показаны документы с 1 по 10 |
1. 
| Ар10-22165
Родионов, И. А.
Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 / И. А. Родионов. - М., 2010. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17 (13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| Ар10-21821
Фортинский, Ю. К.
Управление разработкой и производством микросхем нового поколения двойного применения [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.13.10 / Ю. К. Фортинский. - Воронеж, 2010. - 32 с. - Библиогр.: с. 27-32 (75 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| Ар10-27389
Смирнов, А. А.
Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-м ат. наук : 02.00.04 / А. А. Смирнов. - Иваново, 2010. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (11 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- плазменное травление -- галогенводороды -- аргон -- гелий -- водород -- неравновесная низкотемпературная плазма -- физико-химические процессы -- моделирование
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| Ар11-3487
Серегин, Д. С.
Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Д. С. Серегин. - М., 2011. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21 (17 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- производство -- технологические режимы -- диэлектрические пленки
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| Ар11-10614
Коломийцев, А. С.
Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. С. Коломийцев. - Таганрог, 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-23 (40 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы большие -- микроминиатюризация -- подложки -- субмикронное профилирование -- фокусированные ионные пучки -- элементная база -- наноэлектроника -- микроэлектроника -- наносистемная техника
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| Ар11-11622
Малыхин, Е. М.
Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / Е. М. Малыхин. - М., 2011. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24
Кл.слова (ненормированные):
оптическая литография -- ультрафиолетовое излучение -- интегральные схемы сверхбольшие -- литографы -- многослойные зеркала -- срок службы -- загрязнение -- очистка -- физические механизмы -- взаимодействие плазмы с поверхностью
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| Ар12-9120
Сараев, М. В.
Структурный синтез гетерогенных подсистем обработки информации в многофункциональных программируемых аналого-цифровых системах [Текст] : автореф. дис. ... кнд. техн. наук : 05.13.01 / М. В. Сараев. - Самара, 2012. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-20 (16 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
аналого-цифровые устройства -- системы на кристалле -- гетерогенные схемы -- гетерогенные информационные сигналы -- обработка
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| Ар12-10485
Орешков, М. В.
Разработка измерительного комплекса для контроля и использования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.10 / М. В. Орешков. - М., 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-19
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы большие -- производство -- технический контроль -- измерительный комплекс
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| Ар12-22459
Бондаренко, Л. В.
Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / Л. В. Бондаренко. - Владивосток, 2012. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-21
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы большие -- производство -- реконструированные поверхности -- металлические пленки -- структура -- электрофизические характеристики
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| Ар12-23175
Талалай, М. С.
Метод логико-топологического синтеза нанометровых КМОП схем на основе транзисторных шаблонов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.12 / М. С. Талалай. - М., 2012. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22 (7 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- логико-топологический синтез
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных