Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77.002:669.046.516(043)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар06-24

Гранько, С. В.
Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07, 05.27.01 / С.В. Гранько. - Минск, 2004. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (17 назв.).
В надзаг.: Белорус. гос. ун-т

ГРНТИ	47.13.33
УДК	621.3.049.77.002:669.046.516(043)

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)