Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77-047.84(043)<.>)

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

Ар10-18586

Зырянов, С. М.
Модификация нанопористых диэлектрических материалов в плазме и ее послесвечении [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / С. М. Зырянов. - М., 2010. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23

ГРНТИ	47.13.13
УДК	621.3.049.77-047.84(043)

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар13-5184

Давлятшина, А. А.
Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HCI и его смесей с азотом и кислородом [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.04 / А. А. Давлятшина. - Иваново, 2013. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (7 назв.)

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.3.049.77-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- плазмохимическое травление -- контроль параметров плазмы

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар14-12687

Фадеев, А. В.
Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / А. В. Фадеев. - М., 2014. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22. - 100 экз.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.3.049.77-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- низкотемпературная плазма -- эмиссионная томография

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)