Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.314-181.4(043)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар10-27785

Ляпунов, Д. Ю.
Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.09.01 / Д. Ю. Ляпунов. - Томск, 2010. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21 (27 назв.)

ГРНТИ	45.53
УДК	621.314-181.4(043)

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы -- датчики -- микродвигатели -- тонкопленочные технологии -- электромеханические характеристики -- микроэлектромеханические преобразователи энергии

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)