Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002.5(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5 |
1. 
| АР95-6003
Одиноков, В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,07.27.07 / В. В. Одиноков. - М., 1995. - 32 с. : ил
В надзаг.: НИИ точного машиностроения. Библиогр.: с.30-32(33 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР96-2146
Мартюшенко, А. В.
Моделирование тепло- массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:05.27.01 / А. В. Мартюшенко. - М., 1995. - 15 с. : ил
Библиогр.:с.15 (6 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР96-3438
Пашков, В. Ю.
Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. Ю. Пашков. - М., 1996. - 25 с.
Библиогр.:с. 24-25(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР94-0605
Лутов, В. Н.
Комплекс алгоритмических и программных средств анализа и синтеза структуры ГПС изготовления СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / В. Н. Лутов. - Минск, 1994. - 16 с.
В надзаг.:Белорус.гос.ун-т информатики и радиоэлектроники.Библиогр.:с.15-16(11 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР00-1437
Бахмач, О. Ф.
Исследование и разработка методов моделирования для управления технологическими процессами компьютерно-интегрированного производства СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / О. Ф. Бахмач. - М., 1999. - 23 с. : ил.
Библиогр.:с. 22-23(12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных