Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 20 |
|
1. 
| АР92-04830
Бокша, В. В.
Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. В. Бокша. - Минск, 1992. - 21 с
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с. 18-21.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР92-10427
Будза, А. А.
Разработка и исследование технологии выращивания методом молекулярно-пучковой эпитаксии базовых структур с гетеропереходами для ССИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат. / А. А. Будза. - СПб, 1992. - 18 с. : ил
В надзаг.: Рос.АН,Физ.-техн.ин-т им.А.Ф.Иоффе. Библиогр.: с. 17-18(8назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР95-1957
Сунь Чанку
Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.07 / Сунь Чанку. - СПб, 1994. - 17 с. : ил
В надзаг.: Санкт-Петербург.гос.ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.: с.17 (2 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР95-3439
Козлитин, А. И.
Моделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. И. Козлитин. - М., 1994. - 34 с. : ил
В надзаг.: Гос.НИИ физ.проблем им.Ф.В.Лукина. Библиогр.: с.31-34
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР95-4220
Головин, С. В.
Разработка автоматизированных методик контроля и оптимизации технологии МОП-БИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.01 / С. В. Головин. - Воронеж, 1995. - 20 с
: Библиогр.: с.19-20(10назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| АР95-4916
Смирнов, А. А.
Методы оценки и обеспечения долговечности контактных систем многослойной металлизации [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. А. Смирнов. - Минск, 1995. - 17 с. : ил
В надзаг.: Белорус.гос.ун-т информатики и радиоэлектроники. Библиогр.: с.16-17(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| АР96-0176
Красников, Г. Я.
Физико-технологические принципы и методы обеспечения качества КМОП БИС массового производства [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / Г. Я. Красников. - М., 1996. - 49 с.
Библиогр.:с. 43-49(38 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| АР96-0150
Самойликов, В. К.
Оптимизация технологического оборудования и процесса газофазной эпитаксии кремния производства СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07;05.27.01 / В. К. Самойликов. - М., 1996. - 49 с.
Библиогр.:с. 33-39
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| АР96-0149
Семенов, О. Ю.
Разработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / О. Ю. Семенов. - М., 1996. - 26 с. : ил
Библиогр.:с. 25-26(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| АР97-1113
Райнова, М. Ю.
Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / М. Ю. Райнова. - М., 1997. - 23 с. : ил.
Библиогр.:с. с.19-22(23 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
11.
| АР97-054
Сырчин, В. К.
Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разряда [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / В. К. Сырчин. - М., 1997. - 41 с.ил.
Библиогр.:с. 36-40(46 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
12.
| АР97-0245
Рощин, В. М.
Формирование и исследование свойств тонких пленок вольфрама, полученных при импульсной конденсации электроэрозионной плазмы [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / В. М. Рощин. - М., 1997. - 36 с. : ил.
В надзаг. :Моск. ин-т электронной техники (техн. ун-т). Библиогр.:с. 33-36(18 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
13.
| АР98-158
Березин, А. С.
Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / А. С. Березин. - М., 1997. - 22 с. : ил.
В надзаг.:Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с.22 (5 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
14.
| АР98-260
Булыгина, Е. В.
Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / Е. В. Булыгина. - М., 1997. - 16 с. : ил.
Библиогр.:с.15-16 (8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
15.
| АР99-3523
Пономарь, В. Н.
Планаризация диэлектрика и повышение термостабильности алюминия при создании интегральных схем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / В. Н. Пономарь. - Минск, 1998. - 16 с.
В надзаг. :Белорус. гос. ун-т. Библиогр.:с. 11-13(18 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
16.
| АР99-сф175
Сауров, А. Н.
Методы самоформирования в микроэлектронике [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / А. Н. Сауров. - М., 1999. - 46 с. : ил.
Библиогр.:с. 39-46(53 назв.)
Экземпляры всего 1: сф (1)
Свободны: сф (1)
Найти похожие
|
17.
| АР99-сф194
Чуканов, С. В.
Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / С. В. Чуканов. - М., 1999. - 24 с.
В надзаг. :Моск. гос. ин-т электронной техники (техн. ун-т). Библиогр.:с. 24(5 назв.)
Экземпляры всего 1: сф (1)
Свободны: сф (1)
Найти похожие
|
18.
| АР00-476
Шапоренко, А. П.
Исследование взаимодействия оксида бора с поверхностью Si(III)методом дифракции быстрых электронов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук:01.04.07 / А. П. Шапоренко. - Владивосток, 1999. - 20 с. : ил.
В надзаг. :Рос.АН.Дальневост.отд-ние.Ин-т автоматики и процессов упр. Библиогр.:с. 19-20
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
19.
| АР02-сф116
Горнев, Е. С.
Разработка и внедрение промышленной субмикронной технологии СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / Е. С. Горнев. - М., 2000. - 84 с. : ил.
Библиогр.: с. 61-84(269 назв.)
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
20.
| АР02-9119
Путря, М. Г.
Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / М. Г. Путря. - М., 2002. - 53 с. : ил.
Библиогр.: с. 43-53(63 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных