Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77:776(043)<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Ар13-1082

Медведев, В. В.
Разработка методов спектральной фильтрации для источников экстремального ультрафиолетового излучения на основе лазерной плазмы [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.05 / В. В. Медведев. - Троицк , 2012. - 15 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-15

ГРНТИ	47.13.17
УДК	621.3.049.77:776(043)

Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- ультрафиолетовое излучение

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар15-6830

Корепин, И. Н.
Синтез голограмм-проекторов сфокусированного изображения для фотолитографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 / И. Н. Корепин. - СПб., 2015. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (8 назв.). - 100 экз.

ГРНТИ	47.33.33
УДК	778.38(043)	621.3.049.77:776(043)

Кл.слова (ненормированные):
голограммы -- синтез -- сфокусированное изображение -- проекционная фотолитография

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)