Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>U=004.33.083.84(043)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
АР94-0286

    Островерх, В. А.
    Процесс формирования субмикронного рисунка методом проекционной фотолитографии для изготовления СБИС ЗУ на ЦМД [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. А. Островерх. - М., 1993. - 20 с. : ил
В надзаг.: Моск.инж.-физ.ин-т. Библиогр.: с.19 (2 назв.)

ГРНТИ
50.11.29
УДК
004.33.083.84(043)


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)