Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=улучшенная структура<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар11-16726

Мустафаев, А. Г.
Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / А. Г. Мустафаев. - Новочеркасск, 2011. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 27-32 (67 назв.)

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.315.592.9-047.56(043)

Кл.слова (ненормированные):
кремниевые структуры -- кремниевые пленки на сапфире -- электрофизические параметры -- технологические режимы -- ионная имплантация -- улучшенная структура

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)