Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=субмикронное профилирование<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар11-10614

Коломийцев, А. С.
Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. С. Коломийцев. - Таганрог, 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-23 (40 назв.)

ГРНТИ	47.13.33
УДК	621.3.049.771.14-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы большие -- микроминиатюризация -- подложки -- субмикронное профилирование -- фокусированные ионные пучки -- элементная база -- наноэлектроника -- микроэлектроника -- наносистемная техника

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)