Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=селективное легирование<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар12-21716

Юрасов, Д. В.
Особенности образования нанооостровков в многослойных SiGe гетероструктурах и метод селективного легирования SiGe структур сегрегирующими примесями [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / Д. В. Юрасов. - Н.Новгород, 2012. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-23

ГРНТИ	47.33
УДК	621.315.592.9-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые гетероструктуры -- эпитаксия -- селективное легирование -- донорные примеси

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)