Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=магнетронное распыление<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

Ар11-724

Гусев, А. В.
Синтез, электрофизические и оптические свойства тонкопленочных полимерных и металлополимерных наноструктурированных покрытий на основе поли-пара-ксилилена [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. В. Гусев. - М., 2010. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-21 (17 назв.)
В надзаг.: Ин-т теорет. и прикладной электродинамики РАН

ГРНТИ	81.37.15
УДК	681.7.064.45(043)

Кл.слова (ненормированные):
многослойные оптические покрытия -- вакуумная технология -- магнетронное распыление -- плазменная полимеризация -- газофазная полимеризация

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар11-25020

Комлев, А. Е.
Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. Е. Комлев. - СПб., 2011. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (24 назв.)

ГРНТИ	47.13
УДК	621.38-416(043)

Кл.слова (ненормированные):
оксид тантала -- пленки -- осаждение -- магнетронное распыление -- электроника пленочная

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар15-548

Мороз, А. В.
Система комплексного контроля параметров пленок нитрида алюминия, получаемых методом магнетронного распыления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 / А. В. Мороз. - Казань, 2014. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-16. - 100 экз.

ГРНТИ	53.49.15
УДК	669.017:539.216.3(043)

Кл.слова (ненормированные):
пленки нитрида алюминия -- магнетронное распыление -- контроль

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар15-4433

Лобанов, М. В.
Структура и свойства тонкопленочного диоксида титана модифицированного ниобием, индием и оловом [Текст] : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.21 / М. В. Лобанов. - Воронеж, 2015. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 18 (7 назв.). - 100 экз.

ГРНТИ	47.33
УДК	621.315.592.9(043)

Кл.слова (ненормированные):
тонкопленочные оксидные гетероструктуры -- магнетронное распыление -- прозрачные проводящие покрытия

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)