Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=диэлектрические буферные слои<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар11-10103

Филимонова, Н. И.
Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике" [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / Н. И. Филимонова. - Томск, 2011. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22 (2 назв.)

ГРНТИ	47.13.33
УДК	621.315.592.9-047.56(043)

Кл.слова (ненормированные):
структуры полупроводник-диэлектрик -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- экспериментальное исследование -- диэлектрические буферные слои -- формирование -- рост -- технологические процессы -- оптимизация

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)