Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=динамические оперативные запоминающие устройства<.>)

Общее количество найденных документов : 1

АР10-30035

Турцевич, А. С.
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / А. С. Турцевич. - Минск, 2010. - 52 с. : ил. - Библиогр.: с. 33-49 (137 назв.)
В надзаг.: Ин-т физики им. Б.И. Степанова, Нац. АН Беларуси

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.3.049.76-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные приборы -- производство -- динамические оперативные запоминающие устройства -- микропроцессоры -- силовая электроника

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)