Поисковый запрос: (<.>K=микроэлектромеханические системы<.>) |
Общее количество найденных документов : 10
Показаны документы с 1 по 10 |
1. 
| Ар10-27785
Ляпунов, Д. Ю.
Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.09.01 / Д. Ю. Ляпунов. - Томск, 2010. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21 (27 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы -- датчики -- микродвигатели -- тонкопленочные технологии -- электромеханические характеристики -- микроэлектромеханические преобразователи энергии
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| Ар10-29200
Калинин, М. А.
Измерительные цепи емкостных МЭМС-датчиков для ракетно-космической техники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.01 / М. А. Калинин. - Пенза, 2010. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22 (17 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
ракетно-космическая техника -- микроэлектромеханические системы -- датчики емкостные -- метрологические характеристики -- измерительные цепи -- дифференциальный кремниевый микроконденсатор
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| Ар11-6604
Ермаков, В. А.
Исследование структурно-химических параметров тонких пленок, наностеклокерамики и многослойных нанографитов методами спектроскопии комбинационного рассеяния света [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.05 / В. А. Ермаков. - СПб., 2011. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19
Кл.слова (ненормированные):
наноразмерные материалы -- наноструктурированные материалы -- микроэлектроника -- микроэлектромеханические системы -- спектры
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| Ар11-13474
Чернов, П. С.
Математическое моделирование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.18 / П. С. Чернов. - Пенза, 2011. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-22 (36 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
датчики давления -- тонкопленочные наноэлектромеханические системы -- микроэлектромеханические системы -- математическое моделирование -- численные методы -- физические процессы -- чувствительность -- погрешности
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| Ар11-21134
Пчелинцева, Е. С.
Моделирование и исследование бетавольтаического эффекта на кремниевых PIN структурах [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / Е. С. Пчелинцева. - Ульяновск, 2011. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-21
Кл.слова (ненормированные):
источники питания радиоизотопные -- микроэлектромеханические системы -- полупроводниковые приборы -- бета-источники -- долгоживущие радионуклиды
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| Ар11-23039
Дайнеко, А. В.
Процессы формирования пьезокерамических микроструктур на поверхности монокристаллического кремния [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / А. В. Дайнеко. - Тверь, 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (7 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы -- сегнетокерамические пленки -- кремниевые пластины -- производство -- автоматизация -- моделирование
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| Ар12-11180
Терехин, И. В.
Исследование и разработка детектора по теплопроводности на основе МЭМС-технологии для газовой хроматографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 / И. В. Терехин. - М., 2012. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (8 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
газовая хроматография -- микроэлектромеханические системы -- детектор по теплопроводности -- технические характеристики
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| Ар12-16553
Вопилкин, Е. А.
Туннельные и эмиссионные акселерометры на основе микроэлектромеханических систем [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / Е. А. Вопилкин. - Н.Новгород, 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-19
Кл.слова (ненормированные):
акселерометры -- базовые элементы -- микроэлектромеханические системы -- технологии -- экспериментальное исследование
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| Ар13-8226
Степанов, А. С.
Разработка моделей и исследование динамики микромеханических устройств с электростатическим накатом упругих лент [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.02.06 / А. С. Степанов. - М., 2013. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (17 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы -- реверсивные микродвигатели вращения -- сенсорные устройства
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| Ар13-11110
Москалев, С. А.
Полупроводниковые микроэлектромеханические системы датчиков давления с улучшенными техническими характеристиками [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 / С. А. Москалев. - Пенза, 2013. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (22 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
датчики давления -- микроэлектромеханические системы
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных