Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=магнетронное вакуумное напыление<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар10-29038

Нечаев, М. А.
Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.09.03 / М. А. Нечаев. - Томск, 2010. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.)

ГРНТИ	55.22.19
УДК	621.793.14.06-52(043)

Кл.слова (ненормированные):
магнетронное вакуумное напыление -- сканирование -- управление -- электропривод -- математическое моделирование

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)