Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=катодное распыление<.>)

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

Ар11-15236

Щелканов, И. А.
Сильноточный импульсный магнетронный разряд с автоускорением плазмы [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / И. А. Щелканов. - М., 2011. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22

ГРНТИ	55.22.19
УДК	621.793.182(043)

Кл.слова (ненормированные):
металлические покрытия -- катодное распыление -- высокоскоростная технология -- магнетронный распылительный узел -- температурное поле -- тепловая модель катода

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар12-9405

Гурских, А. В.
Разработка спеченных Ti - Cu, Ti - Si катодов для ионно-плазменного нанесения наноструктурных нитридных покрытий [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.16.09 / А. В. Гурских. - Томск, 2012. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17 (12 назв.)

ГРНТИ	55.22.19	53.39.31
УДК	621.793.182(043)	621.762.5:669.295(043)

Кл.слова (ненормированные):
металлические порошки -- спекание -- спеченные катоды -- катодное распыление

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар14-13900

Болбуков, В. П.
Генерация многокомпонентных потоков частиц в тлеющем разряде с полым катодом [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / В. П. Болбуков. - СПб., 2014. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18 (22 назв.). - 100 экз.

ГРНТИ	55.22
УДК	621.793.182(043)

Кл.слова (ненормированные):
защитные покрытия -- катодное распыление

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)