Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=интегральные схемы сверхбольшие<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Ар11-11622

Малыхин, Е. М.
Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / Е. М. Малыхин. - М., 2011. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24

ГРНТИ	47.13.35
УДК	621.3.049.771.14-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
оптическая литография -- ультрафиолетовое излучение -- интегральные схемы сверхбольшие -- литографы -- многослойные зеркала -- срок службы -- загрязнение -- очистка -- физические механизмы -- взаимодействие плазмы с поверхностью

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар12-32266

Селецкий, А. В.
Исследование и разработка конструктивно-технологических методов повышения радиационной стойкости глубоко-субмикронных СБИС с помощью средств приборно-технологического моделирования [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. В. Селецкий. - М., 2012. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 25-26. - 100 экз.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.3.049.771.14:539.16(043)

Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы сверхбольшие -- радиационная стойкость

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)