Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.76-047.84(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 21
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. 
| Ар10-4183
Мяконьких, А. В.
Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро- и наноструктур методами зондовой диагностики [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / А. В. Мяконьких. - М., 2009. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 26 (9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| Ар10-6287
Ветошкин, В. М.
Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01 / В. М. Ветошкин. - Ижевск, 2009. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22 (15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| Ар10-17027
Манукянц, А. Р.
Влияние внешних воздействий на поверхностную энергию и поверхностное сопротивление металлических систем [Текст] : автореф. дис. ... канд. фз.-мат. наук : 01.04.07 / А. Р. Манукянц. - Нальчик, 2010. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (11 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| Ар10-18585
Кривченко, В. А.
Плазмохимическое осаждение углеродных нано- и микроструктур для применения в электронике [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / В. А. Кривченко. - М., 2010. - 27 с. : ил. - Библиогр.: с. 26-27
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| Ар10-28584
Павлов, А. А.
Разработка конструктивно-технологических методов высокоселективного синтеза ориентированных массивов углеродных нанотрубок на планарных подложках [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. А. Павлов. - М., 2010. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-25
Кл.слова (ненормированные):
углеродные нанотрубки -- синтез -- подложки -- химическое осаждение -- парогазовая фаза -- микроэлектроника -- наносистемотехника
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| Ар10-28763
Амиров, И. И.
Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств [Текст] : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01 / И. И. Амиров. - М., 2010. - 45 с. : ил. - Библиогр.: с. 42-45 (48 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
наноэлектроника -- микросистемотехника -- нанотехнология -- плазмохимическое травление -- плазмохимическое осаждение
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| Ар11-304
Смирнов, К. Ю.
Глубокая очистка оксида диазота [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 02.00.04 / К. Ю. Смирнов. - Н.Новгород, 2010. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (11 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
оксид диазота -- очистка -- дистилляционный метод -- мембранное газоразделение -- низкотемпературная фильтрация -- микроэлектронные приборы -- производство -- вспомогательные материалы
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| Ар11-3291
Сагунова, И. В.
Исследование и модификация наноструктур с использованием токовых режимов зондовой микроскопии и литографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / И. В. Сагунова. - М., 2010. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (16 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- наноструктуры -- производство -- диагностика -- локальное зондовое окисление -- сканирующая электропроводящая микроскопия
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| Ар11-4046
Амиров, И. И.
Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро-наномеханических устройств [Текст] : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01 / И. И. Амиров. - М., 2010. - 45 с. : ИЛ. - Библиогр.: с. 42-45 (48 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
наноэлектроника -- микросистемная техника -- наноструктуры -- плазменные технологии
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| Ар11-7395
Дунаев, А. В.
Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия [Текст] : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.04 / А. В. Дунаев. - Иваново, 2011. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (13 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные приборы -- производство -- наноэлектроника -- плазменные технологии
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных