Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=параметры плазмы<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар12-13046

Юдина, А. В.
Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме смесей HCl с инертными (Ar, He) и молекулярными (H2, Cl2) газами [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.04 / А. В. Юдина. - Иваново, 2012. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (10 назв.)

ГРНТИ	47.13.33
УДК	621.3.049.76-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные приборы -- производство -- плазмохимическое травление -- параметры плазмы

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)