Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>U=621.382-047.84(043)<.>)
Общее количество найденных документов : 10
Показаны документы с 1 по 10
1.
Овчинников В.А. Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве/В. А. Овчинников. - 2009
2.
Васев А.В. Реконструкция поверхности GaAs(001) и их влияние на морфологию слоев при МЛЭ и вакуумном отжиге/А. В. Васев. - 2009
3.
Шумилов А.С. Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе/А. С. Шумилов. - 2009
4.
Гусев Е.Ю. Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур/Е. Ю. Гусев. - 2009
5.
Шатунов В.В. Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур/В. В. Шатунов. - 2011
6.
Номоконова Н.Н. Система контроля и анализа технических свойств интегральных элементов и устройств вычислительной техники по многоуровневой модели информативных параметров/Н. Н. Номоконова. - 2010
7.
Кравченко А.А. Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках/А. А. Кравченко. - 2012
8.
Хлызов В.А. Разработка системы управления и автоматизация технологического процесса лазерного управляемого термораскалывания на промышленных установках/В. А. Хлызов. - 2012
9.
Зарубина О.Н. Межфазные превращения в системах AIIIBV-H2O и формирование поверхности полупроводниковых соединений в жидких средах/О. Н. Зарубина. - 2013
10.
Никулин Ю.В. Модификация структурных и магнитных свойств тонких пленок ферромагнитных металлов, наносимых на аморфные и монокристаллические подложки для приборов магнитоэлектроники/Ю. В. Никулин. - 2014
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)