Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. 
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-017491
Автор(ы) : Акуленок М.В.
Заглавие : Исследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06
Выходные данные : М., 1990
Колич.характеристики :17 с.
Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 16-17(15 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР91-05722
Автор(ы) : Ивановский П.Г.
Заглавие : Исследование и разработка технологических процессов формирования коммутирующей разводки на приборах КМДП КНС БИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : М., 1990
Колич.характеристики :23 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 22-23(8 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31 + 47.13.11
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-013621
Автор(ы) : Боднарь Д.М.
Заглавие : Процессы ионно-плазменного травления и очистки при создании контактно-металлизационных систем биполярных СБИС
: Дис.на соискание ученой степени канд. техн. наук в формеи науч. докл.: 05.27.01
Выходные данные : Воронеж, 1990
Колич.характеристики :25 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Воронеж. гос. ун-т им.Ленин. комсомола. Библиогр.:с. 23-25(23 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-018359
Автор(ы) : Тригуб В.И.
Заглавие : Разработка основных элементов технологического процесса, позволяющих интенсифицировать формирование рисунка фотошаблонов СБИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : М., 1990
Колич.характеристики :28 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 27-28(8 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11 + 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-011080
Автор(ы) : Яшин К.Д.
Заглавие : Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : Минск, 1990
Колич.характеристики :25 с.
Примечания : В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 19-25(60 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11 + 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-09921
Автор(ы) : Рассамакин В.Я.
Заглавие : Плазмохимическое осаждение пленок нитрида кремния для полупроводниковых СБИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06
Выходные данные : Киев, 1990
Колич.характеристики :16 с.
Примечания : В надзаг. : АН УССР. Ин-т полупроводников. Библиогр.:с. 14-16(23 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-018416
Автор(ы) : Патюков С.И.
Заглавие : Разработка низкотемпературных, не вносящих радиационные дефекты, процессов осаждения диэлектрических слоев в реакторе с групповой обработкой пластин
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06
Выходные данные : М., 1990
Колич.характеристики :22 с.
Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 20-21(15 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-012021
Автор(ы) : Кривошеин И.В.
Заглавие : Алгоритмические и программные средства управления транспортной системой гибкого автоматизированного цеха изготовления больших интегральных схем
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07, 05.13.01
Выходные данные : Минск, 1990
Колич.характеристики :17 с.
Примечания : В надзаг. : Минский радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 15-17(13 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11 + 47.01.85
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР91-016147
Автор(ы) : Лутов В.Н.
Заглавие : Комплекс алгоритмических и программных средств анализа и синтеза структуры ГПС изготовления СБИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07
Выходные данные : Минск, 1991
Колич.характеристики :16 с.
Примечания : В надзаг. : Минский радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 15-16(10 назв7)
ГРНТИ : 47.13.11 + 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР92-10427
Автор(ы) : Будза А.А.
Заглавие : Разработка и исследование технологии выращивания методом молекулярно-пучковой эпитаксии базовых структур с гетеропереходами для ССИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.
Выходные данные : СПб, 1992
Колич.характеристики :18 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Рос.АН,Физ.-техн.ин-т им.А.Ф.Иоффе. Библиогр.: с. 17-18(8назв.).
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1), (2)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных