Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. 
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар07-сф79
Автор(ы) : Терашкевич И.М.
Заглавие : Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2006
Колич.характеристики :25 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 24-25
ГРНТИ : 47.33.31 + 45.53
УДК : 621.3.049.771.14.002(043) + 621.31-181.4(043)
Экземпляры :СФ(1)
Свободны : СФ(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар06-6973
Автор(ы) : Цимбалов А.С.
Заглавие : Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2006
Колич.характеристики :26 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 26 (8 назв.).
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар07-3338
Автор(ы) : Редичев Е.Н.
Заглавие : Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2006
Колич.характеристики :26 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21-25(20 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар07-2872
Автор(ы) : Мустафаев А.Г.
Заглавие : Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Владикавказ, 2006
Колич.характеристики :17 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16-17(11 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар04-1168
Автор(ы) : Епимахов И.Д.
Заглавие : Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2003
Колич.характеристики :22 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар04-2335
Автор(ы) : Каратунов Ю.В.
Заглавие : Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2003
Колич.характеристики :27 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 27 (8 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар04-7411
Автор(ы) : Кирюшина И.В.
Заглавие : Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2003
Колич.характеристики :21 с.
Примечания : Библиогр.: с. 20-21(9 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР02-9119
Автор(ы) : Путря М.Г.
Заглавие : Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01
Выходные данные : М., 2002
Колич.характеристики :53 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 43-53(63 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар03-9483
Автор(ы) : Саркаров Т.Э.
Заглавие : Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных устройств для интегральной электроники
: автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Нальчик, 2002
Колич.характеристики :30 с
Примечания : Библиогр.: с. 28-30 (30 назв.)
ГРНТИ : 47.09.31 + 47.13.11
УДК : 621.315.61-416.002(043) + 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР02-сф116
Автор(ы) : Горнев Е.С.
Заглавие : Разработка и внедрение промышленной субмикронной технологии СБИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01
Выходные данные : М., 2000
Колич.характеристики :84 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 61-84(269 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31 + 47.13.11
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :СФ(1)
Свободны : СФ(1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных