Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. 
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-011080
Автор(ы) : Яшин К.Д.
Заглавие : Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : Минск, 1990
Колич.характеристики :25 с.
Примечания : В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 19-25(60 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11 + 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР00-476
Автор(ы) : Шапоренко А.П.
Заглавие : Исследование взаимодействия оксида бора с поверхностью Si(III)методом дифракции быстрых электронов
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук:01.04.07
Выходные данные : Владивосток, 1999
Колич.характеристики :20 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. :Рос.АН.Дальневост.отд-ние.Ин-т автоматики и процессов упр. Библиогр.:с. 19-20
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР99-сф194
Автор(ы) : Чуканов С.В.
Заглавие : Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06
Выходные данные : М., 1999
Колич.характеристики :24 с.
Примечания : В надзаг. :Моск. гос. ин-т электронной техники (техн. ун-т). Библиогр.:с. 24(5 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :сф(1)
Свободны : сф(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар06-6973
Автор(ы) : Цимбалов А.С.
Заглавие : Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2006
Колич.характеристики :26 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 26 (8 назв.).
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-018359
Автор(ы) : Тригуб В.И.
Заглавие : Разработка основных элементов технологического процесса, позволяющих интенсифицировать формирование рисунка фотошаблонов СБИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : М., 1990
Колич.характеристики :28 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 27-28(8 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11 + 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар07-сф79
Автор(ы) : Терашкевич И.М.
Заглавие : Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2006
Колич.характеристики :25 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 24-25
ГРНТИ : 47.33.31 + 45.53
УДК : 621.3.049.771.14.002(043) + 621.31-181.4(043)
Экземпляры :СФ(1)
Свободны : СФ(1)
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР97-054
Автор(ы) : Сырчин В.К.
Заглавие : Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разряда
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07
Выходные данные : М., 1997
Колич.характеристики :41 с.ил.
Примечания : Библиогр.:с. 36-40(46 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР95-1957
Автор(ы) : Сунь Чанку
Заглавие : Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.07
Выходные данные : СПб, 1994
Колич.характеристики :17 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Санкт-Петербург.гос.ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.: с.17 (2 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР95-4916
Автор(ы) : Смирнов А.А.
Заглавие : Методы оценки и обеспечения долговечности контактных систем многослойной металлизации
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01
Выходные данные : Минск, 1995
Колич.характеристики :17 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Белорус.гос.ун-т информатики и радиоэлектроники. Библиогр.: с.16-17(10 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР96-0149
Автор(ы) : Семенов О.Ю.
Заглавие : Разработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06
Выходные данные : М., 1996
Колич.характеристики :26 с.:
ил
Примечания : Библиогр.:с. 25-26(10 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных