Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. 
| АР90-017491
Акуленок, М. В.
Исследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / М. В. Акуленок. - М., 1990. - 17 с.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 16-17(15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР98-158
Березин, А. С.
Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / А. С. Березин. - М., 1997. - 22 с. : ил.
В надзаг.:Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с.22 (5 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР90-013621
Боднарь, Д. М.
Процессы ионно-плазменного травления и очистки при создании контактно-металлизационных систем биполярных СБИС [Текст] : дис.на соискание ученой степени канд. техн. наук в формеи науч. докл.: 05.27.01 / Д. М. Боднарь. - Воронеж, 1990. - 25 с. : ил.
В надзаг. : Воронеж. гос. ун-т им.Ленин. комсомола. Библиогр.:с. 23-25(23 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР92-04830
Бокша, В. В.
Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. В. Бокша. - Минск, 1992. - 21 с
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с. 18-21.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР92-10427
Будза, А. А.
Разработка и исследование технологии выращивания методом молекулярно-пучковой эпитаксии базовых структур с гетеропереходами для ССИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат. / А. А. Будза. - СПб, 1992. - 18 с. : ил
В надзаг.: Рос.АН,Физ.-техн.ин-т им.А.Ф.Иоффе. Библиогр.: с. 17-18(8назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| АР98-260
Булыгина, Е. В.
Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / Е. В. Булыгина. - М., 1997. - 16 с. : ил.
Библиогр.:с.15-16 (8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| АР95-4220
Головин, С. В.
Разработка автоматизированных методик контроля и оптимизации технологии МОП-БИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.01 / С. В. Головин. - Воронеж, 1995. - 20 с
: Библиогр.: с.19-20(10назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| АР02-сф116
Горнев, Е. С.
Разработка и внедрение промышленной субмикронной технологии СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / Е. С. Горнев. - М., 2000. - 84 с. : ил.
Библиогр.: с. 61-84(269 назв.)
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
9.
| Ар04-1168
Епимахов, И. Д.
Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / И. Д. Епимахов. - М., 2003. - 22 с. : ил.
Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| АР91-05722
Ивановский, П. Г.
Исследование и разработка технологических процессов формирования коммутирующей разводки на приборах КМДП КНС БИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / П. Г. Ивановский. - М., 1990. - 23 с. : ил.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 22-23(8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных