Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. 
| АР90-018359
Тригуб, В. И.
Разработка основных элементов технологического процесса, позволяющих интенсифицировать формирование рисунка фотошаблонов СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. И. Тригуб. - М., 1990. - 28 с. : ил.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 27-28(8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР90-018416
Патюков, С. И.
Разработка низкотемпературных, не вносящих радиационные дефекты, процессов осаждения диэлектрических слоев в реакторе с групповой обработкой пластин [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / С. И. Патюков. - М., 1990. - 22 с.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 20-21(15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР90-013621
Боднарь, Д. М.
Процессы ионно-плазменного травления и очистки при создании контактно-металлизационных систем биполярных СБИС [Текст] : дис.на соискание ученой степени канд. техн. наук в формеи науч. докл.: 05.27.01 / Д. М. Боднарь. - Воронеж, 1990. - 25 с. : ил.
В надзаг. : Воронеж. гос. ун-т им.Ленин. комсомола. Библиогр.:с. 23-25(23 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР90-017491
Акуленок, М. В.
Исследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / М. В. Акуленок. - М., 1990. - 17 с.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 16-17(15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР90-09921
Рассамакин, В. Я.
Плазмохимическое осаждение пленок нитрида кремния для полупроводниковых СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / В. Я. Рассамакин. - Киев, 1990. - 16 с.
В надзаг. : АН УССР. Ин-т полупроводников. Библиогр.:с. 14-16(23 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| АР91-05722
Ивановский, П. Г.
Исследование и разработка технологических процессов формирования коммутирующей разводки на приборах КМДП КНС БИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / П. Г. Ивановский. - М., 1990. - 23 с. : ил.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 22-23(8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| АР02-9119
Путря, М. Г.
Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / М. Г. Путря. - М., 2002. - 53 с. : ил.
Библиогр.: с. 43-53(63 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| АР90-011080
Яшин, К. Д.
Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / К. Д. Яшин. - Минск, 1990. - 25 с.
В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 19-25(60 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| АР91-016147
Лутов, В. Н.
Комплекс алгоритмических и программных средств анализа и синтеза структуры ГПС изготовления СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07 / В. Н. Лутов. - Минск, 1991. - 16 с.
В надзаг. : Минский радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 15-16(10 назв7)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| Ар07-сф79
Терашкевич, И. М.
Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / И. М. Терашкевич. - М., 2006. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-25
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных