Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. 
| Ар07-сф79
Терашкевич, И. М.
Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / И. М. Терашкевич. - М., 2006. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-25
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
2.
| Ар06-6973
Цимбалов, А. С.
Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. С. Цимбалов. - М., 2006. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 26 (8 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| Ар07-3338
Редичев, Е. Н.
Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Е. Н. Редичев. - М., 2006. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-25(20 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| Ар07-2872
Мустафаев, А. Г.
Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. Г. Мустафаев. - Владикавказ, 2006. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17(11 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| Ар04-1168
Епимахов, И. Д.
Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / И. Д. Епимахов. - М., 2003. - 22 с. : ил.
Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| Ар04-2335
Каратунов, Ю. В.
Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Ю. В. Каратунов. - М., 2003. - 27 с. : ил.
Библиогр.: с. 27 (8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| Ар04-7411
Кирюшина, И. В.
Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / И. В. Кирюшина. - М., 2003. - 21 с.
Библиогр.: с. 20-21(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| АР02-9119
Путря, М. Г.
Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / М. Г. Путря. - М., 2002. - 53 с. : ил.
Библиогр.: с. 43-53(63 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| Ар03-9483
Саркаров, Т. Э.
Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных устройств для интегральной электроники [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / Т. Э. Саркаров. - Нальчик, 2002. - 30 с.
Библиогр.: с. 28-30 (30 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| АР02-сф116
Горнев, Е. С.
Разработка и внедрение промышленной субмикронной технологии СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / Е. С. Горнев. - М., 2000. - 84 с. : ил.
Библиогр.: с. 61-84(269 назв.)
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных