Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. 
| АР90-011080
Яшин, К. Д.
Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / К. Д. Яшин. - Минск, 1990. - 25 с.
В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 19-25(60 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР00-476
Шапоренко, А. П.
Исследование взаимодействия оксида бора с поверхностью Si(III)методом дифракции быстрых электронов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук:01.04.07 / А. П. Шапоренко. - Владивосток, 1999. - 20 с. : ил.
В надзаг. :Рос.АН.Дальневост.отд-ние.Ин-т автоматики и процессов упр. Библиогр.:с. 19-20
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР99-сф194
Чуканов, С. В.
Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / С. В. Чуканов. - М., 1999. - 24 с.
В надзаг. :Моск. гос. ин-т электронной техники (техн. ун-т). Библиогр.:с. 24(5 назв.)
Экземпляры всего 1: сф (1)
Свободны: сф (1)
Найти похожие
|
4.
| Ар06-6973
Цимбалов, А. С.
Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. С. Цимбалов. - М., 2006. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 26 (8 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР90-018359
Тригуб, В. И.
Разработка основных элементов технологического процесса, позволяющих интенсифицировать формирование рисунка фотошаблонов СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. И. Тригуб. - М., 1990. - 28 с. : ил.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 27-28(8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| Ар07-сф79
Терашкевич, И. М.
Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / И. М. Терашкевич. - М., 2006. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-25
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
7.
| АР97-054
Сырчин, В. К.
Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разряда [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / В. К. Сырчин. - М., 1997. - 41 с.ил.
Библиогр.:с. 36-40(46 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| АР95-1957
Сунь Чанку
Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.07 / Сунь Чанку. - СПб, 1994. - 17 с. : ил
В надзаг.: Санкт-Петербург.гос.ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.: с.17 (2 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| АР95-4916
Смирнов, А. А.
Методы оценки и обеспечения долговечности контактных систем многослойной металлизации [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. А. Смирнов. - Минск, 1995. - 17 с. : ил
В надзаг.: Белорус.гос.ун-т информатики и радиоэлектроники. Библиогр.: с.16-17(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| АР96-0149
Семенов, О. Ю.
Разработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / О. Ю. Семенов. - М., 1996. - 26 с. : ил
Библиогр.:с. 25-26(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных