Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
в найденном
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>)
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-20   21-30      
1.
Тригуб В.И. Разработка основных элементов технологического процесса, позволяющих интенсифицировать формирование рисунка фотошаблонов СБИС. - 1990
2.
Патюков С.И. Разработка низкотемпературных, не вносящих радиационные дефекты, процессов осаждения диэлектрических слоев в реакторе с групповой обработкой пластин. - 1990
3.
Боднарь Д.М. Процессы ионно-плазменного травления и очистки при создании контактно-металлизационных систем биполярных СБИС. - 1990
4.
Акуленок М.В. Исследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС. - 1990
5.
Рассамакин В.Я. Плазмохимическое осаждение пленок нитрида кремния для полупроводниковых СБИС. - 1990
6.
Ивановский П.Г. Исследование и разработка технологических процессов формирования коммутирующей разводки на приборах КМДП КНС БИС. - 1990
7.
Путря М.Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами. - 2002
8.
Яшин К.Д. Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС. - 1990
9.
Лутов В.Н. Комплекс алгоритмических и программных средств анализа и синтеза структуры ГПС изготовления СБИС. - 1991
10.
Терашкевич И.М. Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня/И. М. Терашкевич. - 2006
 1-10    11-20   21-30      
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)