Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
в найденном
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>)
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-20   21-30      
1.
Терашкевич И.М. Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня/И. М. Терашкевич. - 2006
2.
Цимбалов А.С. Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании/А. С. Цимбалов. - 2006
3.
Редичев Е.Н. Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС/Е. Н. Редичев. - 2006
4.
Мустафаев А.Г. Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе/А. Г. Мустафаев. - 2006
5.
Епимахов И.Д. Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС. - 2003
6.
Каратунов Ю.В. Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники. - 2003
7.
Кирюшина И.В. Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами. - 2003
8.
Путря М.Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами. - 2002
9.
Саркаров Т.Э. Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных устройств для интегральной электроники. - 2002
10.
Горнев Е.С. Разработка и внедрение промышленной субмикронной технологии СБИС. - 2000
 1-10    11-20   21-30      
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)