Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
в найденном
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002(043)<.>)
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-20   21-30      
1.
Яшин К.Д. Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС. - 1990
2.
Шапоренко А.П. Исследование взаимодействия оксида бора с поверхностью Si(III)методом дифракции быстрых электронов. - 1999
3.
Чуканов С.В. Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня. - 1999
4.
Цимбалов А.С. Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании/А. С. Цимбалов. - 2006
5.
Тригуб В.И. Разработка основных элементов технологического процесса, позволяющих интенсифицировать формирование рисунка фотошаблонов СБИС. - 1990
6.
Терашкевич И.М. Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня/И. М. Терашкевич. - 2006
7.
Сырчин В.К. Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разряда. - 1997
8.
Сунь Чанку Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем. - 1994
9.
Смирнов А.А. Методы оценки и обеспечения долговечности контактных систем многослойной металлизации. - 1995
10.
Семенов О.Ю. Разработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния. - 1996
 1-10    11-20   21-30      
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)