Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14-047.84(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 10
Показаны документы с 1 по 10 |
1. 
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-22165
Автор(ы) : Родионов И.А.
Заглавие : Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14
Выходные данные : М., 2010
Колич.характеристики :17 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16-17 (13 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-21821
Автор(ы) : Фортинский Ю.К.
Заглавие : Управление разработкой и производством микросхем нового поколения двойного применения
: автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.13.10
Выходные данные : Воронеж, 2010
Колич.характеристики :32 с.
Примечания : Библиогр.: с. 27-32 (75 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14-047.56(043) + 621.3.049.771.14-047.84(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-27389
Автор(ы) : Смирнов А.А.
Заглавие : Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом
: автореф. дис. ... канд. физ.-м ат. наук : 02.00.04
Выходные данные : Иваново, 2010
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16 (11 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы--плазменное травление--галогенводороды--аргон--гелий--водород--неравновесная низкотемпературная плазма--физико-химические процессы--моделирование
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-3487
Автор(ы) : Серегин Д.С.
Заглавие : Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2011
Колич.характеристики :21 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 19-21 (17 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы--производство--технологические режимы--диэлектрические пленки
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-10614
Автор(ы) : Коломийцев А.С.
Заглавие : Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Таганрог, 2011
Колич.характеристики :23 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 19-23 (40 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы большие--микроминиатюризация--подложки--субмикронное профилирование--фокусированные ионные пучки--элементная база--наноэлектроника--микроэлектроника--наносистемная техника
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-11622
Автор(ы) : Малыхин Е.М.
Заглавие : Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм)
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08
Выходные данные : М., 2011
Колич.характеристики :24 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 23-24
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оптическая литография--ультрафиолетовое излучение--интегральные схемы сверхбольшие--литографы--многослойные зеркала--срок службы--загрязнение--очистка--физические механизмы--взаимодействие плазмы с поверхностью
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-9120
Автор(ы) : Сараев М.В.
Заглавие : Структурный синтез гетерогенных подсистем обработки информации в многофункциональных программируемых аналого-цифровых системах
: автореф. дис. ... кнд. техн. наук : 05.13.01
Выходные данные : Самара, 2012
Колич.характеристики :20 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 18-20 (16 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): аналого-цифровые устройства--системы на кристалле--гетерогенные схемы--гетерогенные информационные сигналы--обработка
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-10485
Автор(ы) : Орешков М.В.
Заглавие : Разработка измерительного комплекса для контроля и использования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.10
Выходные данные : М., 2012
Колич.характеристики :19 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 17-19
ГРНТИ : 47.01.81
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы большие--производство--технический контроль--измерительный комплекс
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-22459
Автор(ы) : Бондаренко Л.В.
Заглавие : Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111)
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10
Выходные данные : Владивосток, 2012
Колич.характеристики :22 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 18-21
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы большие--производство--реконструированные поверхности--металлические пленки--структура--электрофизические характеристики
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-23175
Автор(ы) : Талалай М.С.
Заглавие : Метод логико-топологического синтеза нанометровых КМОП схем на основе транзисторных шаблонов
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.12
Выходные данные : М., 2012
Колич.характеристики :22 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 22 (7 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы--логико-топологический синтез
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных