Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14-047.84(043)<.>)
Общее количество найденных документов : 10
Показаны документы с 1 по 10
1.
Малыхин Е.М. Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм)/Е. М. Малыхин. - 2011
2.
Талалай М.С. Метод логико-топологического синтеза нанометровых КМОП схем на основе транзисторных шаблонов/М. С. Талалай. - 2012
3.
Серегин Д.С. Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем/Д. С. Серегин. - 2011
4.
Орешков М.В. Разработка измерительного комплекса для контроля и использования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами/М. В. Орешков. - 2012
5.
Родионов И.А. Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения/И. А. Родионов. - 2010
6.
Коломийцев А.С. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур/А. С. Коломийцев. - 2011
7.
Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111)/Л. В. Бондаренко. - 2012
8.
Сараев М.В. Структурный синтез гетерогенных подсистем обработки информации в многофункциональных программируемых аналого-цифровых системах/М. В. Сараев. - 2012
9.
Фортинский Ю.К. Управление разработкой и производством микросхем нового поколения двойного применения/Ю. К. Фортинский. - 2010
10.
Смирнов А.А. Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом/А. А. Смирнов. - 2010
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)