Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77.002:776(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 34
Показаны документы с 1 по 30 |
|
1. 
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР91-11345
Автор(ы) : Мануйлов В.В.
Заглавие : Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01
Выходные данные : М., 1991
Колич.характеристики :21 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: НИИ физ.пробл. Библиогр.: с. 20-21(11назв.).
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1), (2)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР95-085
Автор(ы) : Михайлов В.П.
Заглавие : Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок для повышения их производительности
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07
Выходные данные : М., 1995
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с.14-16(13 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР95-0177
Автор(ы) : Архангельский А.Б.
Заглавие : Разработка высокопроизводительных алгоритмов и инструментальных средств подготовки управляющих программ для фотонаборных установок
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13:05.13.16
Выходные данные : М., 1995
Колич.характеристики :24 с.:
ил
Примечания : В надзаг.:Моск.гос.авиац.технол.ун-т им.К.Э.Циолковского.Библиогр.:с.23-24 (10 назв.)
ГРНТИ : 47.13.17
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР95-0211
Автор(ы) : Кольцов Ю.И.
Заглавие : Физико-химические исследования фоточувствительных резистных систем высокого разрешения
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим.наук:02.00.04
Выходные данные : М., 1994
Колич.характеристики :53 с.:
ил
Примечания : В надзаг.:Моск.гос.ин-т электрон.техники(Техн.ун-т).Библиогр.:с.
ГРНТИ : 47.13.17
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР96-1731
Автор(ы) : Борзенко Т.Б.
Заглавие : Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:05.27.01
Выходные данные : Черноголовка, 1996
Колич.характеристики :20 с.:
ил
Примечания : Библиогр.:с. 19-20(14назв.)
ГРНТИ : 47.13.17
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР96-6128
Автор(ы) : Филатова М.С.
Заглавие : Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01
Выходные данные : М., 1996
Колич.характеристики :23 с.
Примечания : В надзаг. : АН России,Физ.-технол.ин-т.Библиогр.:с. 21-23
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР97-2656
Автор(ы) : Кривоспицкий А.Д.
Заглавие : Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01
Выходные данные : М., 1997
Колич.характеристики :38 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с. 34-38(55 назв.)
ГРНТИ : 47.13.17
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-2253
Автор(ы) : Семин Ю.Ф.
Заглавие : Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07
Выходные данные : М., 1998
Колич.характеристики :16 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с.14-16 (24 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-4413
Автор(ы) : Балашов В.Н.
Заглавие : Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07
Выходные данные : М., 1998
Колич.характеристики :39 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с. 37-39(29 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-4539
Автор(ы) : Гайнуллина Н.Р.
Заглавие : Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.21
Выходные данные : Казань, 1998
Колич.характеристики :15 с.
Примечания : Библиогр.:с. 13-15(9 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
11.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-5309
Автор(ы) : Марголин В.И.
Заглавие : Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектроникне
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : СПб, 1998
Колич.характеристики :29 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с. 22-29
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
12.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР99-5648
Автор(ы) : Домненко В.М.
Заглавие : Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07
Выходные данные : СПб, 1999
Колич.характеристики :18 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. :С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (техн. ун-т). Библиогр.:с. 18(10 назв.)
ГРНТИ : 47.13.17
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
13.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР00-сф107
Автор(ы) : Мальцев В.П.
Заглавие : Адгезия фоторезистов и ее влияние на процессы фотолитографии
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06
Выходные данные : М., 2000
Колич.характеристики :25 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с. 24-25(11 назв.)
ГРНТИ : 47.13.17
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :сф(1)
Свободны : сф(1)
Найти похожие
|
14.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР00-8400
Автор(ы) : Гайфуллин Б.Н.
Заглавие : Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур
: Диссертация на соискание ученой степени канд.техн.наук в форме науч.докл.:05.13.18
Выходные данные : М., 2000
Колич.характеристики :33 л.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Междунар. межакад. союз. Библиогр.:л. 32-33 (10 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
15.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР00-9572
Автор(ы) : Ивин В.В.
Заглавие : Исследование перспективных фотолитографических процессов с СУБ-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01
Выходные данные : М., 2000
Колич.характеристики :22 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. :Физико-технол. ин-т Рос.АН. Библиогр.:с. 22(6 назв.)*
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
16.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР01-1452
Автор(ы) : Назина Л.И.
Заглавие : Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01
Выходные данные : Воронеж, 2000
Колич.характеристики :24 с.:
ил
Примечания : В надзаг. : Воронеж. гос. технол. акад. Библиогр.:с. 23-24 (15 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002:776(043) + 621.382.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
17.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР02-1304
Автор(ы) : Калитеевская Н.А.
Заглавие : Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10
Выходные данные : СПб., 2001
Колич.характеристики :22 с.
+ 100 экз.
Примечания : В надзаг.: Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе РАН. Библиогр.: с. 21-22(8 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
18.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР02-сф272
Автор(ы) : Грушевский А.М.
Заглавие : Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01
Выходные данные : М., 2002
Колич.характеристики :53 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 45-53(74 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :СФ(1)
Свободны : СФ(1)
Найти похожие
|
19.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР02-6564
Автор(ы) : Соколов Д.В.
Заглавие : Методика нанооксидирования и травления поверхности n-InGaAs с помощью атомно-силового микроскопа
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.01
Выходные данные : СПб., 2001
Колич.характеристики :16 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 15-16(5 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
20.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР02-9203
Автор(ы) : Прудник А.М.
Заглавие : Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01
Выходные данные : Минск, 2002
Колич.характеристики :21 с.:
ил.
Примечания : В надзаг.: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". Библиогр.: с.1718 (17 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
21.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-010365
Автор(ы) : Левченко Е.Н.
Заглавие : Исследование процесса проявления электронорезиста с учетом закономерностей формирования в нем скрытого изображения
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : Киев, 1990
Колич.характеристики :16 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : АН УССР. Ин-т кибернетики им.В.М.Глушкова. Библиогр.:с. 16(6 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
22.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар04-2980
Автор(ы) : Силаков М.В.
Заглавие : Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2003
Колич.характеристики :22 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 21-22 (8 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
23.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар04-6808
Автор(ы) : Душкин И.В.
Заглавие : Близкопольная Сканирующая Зондовая Микроскопия для формирования и измерения свойств наноразмерных структур
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2003
Колич.характеристики :19 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 19
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
24.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар04-7219
Автор(ы) : Лапшин Р.В.
Заглавие : Объектно-ориентированное сканирование для зондовой микроскопии и нанотехнологии
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2002
Колич.характеристики :34 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 33-34
ГРНТИ : 29.35.43 + 47.13.11
УДК : 537.533.35(043) + 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
25.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар04-9190
Автор(ы) : Трунин Д.А.
Заглавие : Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2003
Колич.характеристики :22 с.:
ил.
Примечания : В надзаг.: Моск. физико-техн. ин-т (гос. ун-т). Библиогр.: с. 21(6 назввв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
26.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар05-3776
Автор(ы) : Суханов Я.Н.
Заглавие : Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08, 01.04.04
Выходные данные : М., 2005
Колич.характеристики :19 с.
Примечания : Библиогр.: с. 17-19 (15 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
27.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар06-2415
Автор(ы) : Коробко Ю.О.
Заглавие : Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Минск, 2005
Колич.характеристики :22 с.
Примечания : Библиогр.: с. 18-19. - В надзаг.: Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
28.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар06-6285
Автор(ы) : Орлов О.М.
Заглавие : Исследование и разработка конструкций и технологии изготовления самосовмещенных комплементарных полевых транзисторных структур с субмикронными размерами
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2005
Колич.характеристики :39 с:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 35-39(34 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
29.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар07-1141
Автор(ы) : Пестов А.Е.
Заглавие : Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01
Выходные данные : Н. Новгород, 2006
Колич.характеристики :18 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 15-18.
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
30.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар07-сф76
Автор(ы) : Цветков Ю.Б.
Заглавие : Основы управления топологической точностью микролитографии
: автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2006
Колич.характеристики :32 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 29-32
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :СФ(1)
Свободны : СФ(1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных