Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 36
Показаны документы с 1 по 30 |
|
1. 
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР92-04824
Автор(ы) : Гулидов Д.Н.
Заглавие : Использование анизотропии свойств полуфабрикатов для оптимизации технологии кремниевых ИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01
Выходные данные : М., 1992
Колич.характеристики :50 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Моск.Ин-т электрон.техники. Библиогр.: с. 46-50.
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР93-05
Автор(ы) : Квасов Н.Т.
Заглавие : Динамические явления и твердофазные релаксационные процессы в кремнии при ионных и фотонных воздействиях
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.07
Выходные данные : Минск, 1992
Колич.характеристики :53 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Белорус.гос.ун-т. Библиогр.: с. 44-53(62 назв.).
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР93-01718
Автор(ы) : Ророкин В.М.
Заглавие : Разработка бесщелочного стекла и технологии эмалированных титановых подложек для микроэлектроники
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:02.00.04
Выходные данные : Челябинск, 1993
Колич.характеристики :20 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Челяб.гос.техн.ун-т. Библиогр.: с. 19-20(10 назв.).
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР93-0810
Автор(ы) : Журавлев А.В.
Заглавие : Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06
Выходные данные : М., 1993
Колич.характеристики :20 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Моск.ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 19-20(8 назв.).
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР93-01735
Автор(ы) : Голубев В.В.
Заглавие : Исследование и разработка методов повышения эффективности контроля качества и надежности при производстве интегральных микросхем
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:08.00.20
Выходные данные : М., 1993
Колич.характеристики :15 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Моск.гос.техн.ун-т им.Н.Э.Баумана. Библиогр.: с. 14-15(7назв.).
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР93-04208
Автор(ы) : Кононов В.Ю.
Заглавие : Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07
Выходные данные : М., 1993
Колич.характеристики :27 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники(техн.ун-т). Библиогр.: с.26-27(12 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР93-3550
Автор(ы) : Эмексузян В.М.
Заглавие : Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10
Выходные данные : Новосибирск, 1993
Колич.характеристики :18 с.
Примечания : В надзаг.: Рос.АН,Сиб.отд-ние,Ин-т физики полупроводников. Библиогр.: 16-18(21 назв.)
ГРНТИ : 47.33 + 47.33.31
УДК : 621.382.002(043) + 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1), (2)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР94-708
Автор(ы) : Суетин Н.В.
Заглавие : Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08
Выходные данные : М., 1993
Колич.характеристики :22 с.
Примечания : В надзаг.: МГУ им.М.В.Ломоносова,НИИ ядер.физики. Библиогр.: с.18-22(34 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР95-1571
Автор(ы) : Крупенников О.Г.
Заглавие : Повышение эффективности операции разрезания заготовок из полупроводниковых и диэлектрических материалов на пластины алмазными отрезными кругами
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.08
Выходные данные : Ульяновск, 1994
Колич.характеристики :18 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Ульянов.гос.техн.ун-т. Библиогр.: с.17-18 (13 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.382.002(043) + 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР95-6331
Автор(ы) : Ухов А.А.
Заглавие : Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07
Выходные данные : СПб, 1995
Колич.характеристики :14 с
Примечания : Библиогр.: с.13-14(10 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043) + 621.3.049.76-416(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
11.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР94-5526
Автор(ы) : Левенец В.В.
Заглавие : Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06
Выходные данные : М., 1994
Колич.характеристики :19 с.:
ил
Примечания : В надзаг.:НИИ физ. пробл.им.Ф.В.Лукина.Библиогр.:с.19(6 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
12.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР96-2818
Автор(ы) : Поляков В.В.
Заглавие : Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : Таганрог, 1995
Колич.характеристики :16 с
Примечания : В надзаг. : Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. Библиогр.:с. 14-16 (18 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
13.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР96-0242
Автор(ы) : Громов Д.Г.
Заглавие : Исследование и разработка технологии получения термостабильных слабопроникающих контатктных систем кремниевых ИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06
Выходные данные : М., 1996
Колич.характеристики :25 с.:
ил
Примечания : Библиогр.:с. 24-25 (14 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
14.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР96-5134
Автор(ы) : Хамаев В.А.
Заглавие : Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.17.03
Выходные данные : М., 1996
Колич.характеристики :32 с.:
ил
Примечания : Библиогр.:с. 29-32 (41 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
15.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-2740
Автор(ы) : Суворинов А.В.
Заглавие : Развитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07
Выходные данные : М., 1998
Колич.характеристики :34 с.
Примечания : Библиогр.:с. 31-34(33 назв.)
ГРНТИ : 47.13.81
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
16.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-4394
Автор(ы) : Бутусов И.Ю.
Заглавие : Неразрушающий электрический контроль структур SiO -Si в производстве МОП-транзисторов и МОП БИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : Воронеж, 1998
Колич.характеристики :18 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с. 17-18(12 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.382.323.002:658.562(043) + 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
17.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-5878
Автор(ы) : Резникова Е.Ф.
Заглавие : Химическое осаждение металлических пленочных микроструктур из паров летучих соединений металлов с помощью мощного высокочастотного наносекундного импульсного ультрафиолетового лазера
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук:02.00.04
Выходные данные : Новосибирск, 1998
Колич.характеристики :22 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с.21-22
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
18.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-6361
Автор(ы) : Крылов В.П.
Заглавие : Электрофизика статистических и релаксационных процессорных средств параметрического контроля интегральных микросхем
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.13
Выходные данные : М., 1998
Колич.характеристики :31 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с.27-31(36 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
19.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР94-0566
Автор(ы) : Зайцев Н.А.
Заглавие : Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO в производстве кремниевых микросхем
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 06.27.01
Выходные данные : М., 1994
Колич.характеристики :51 с
Примечания : В надзаг.: Моск. гос. ун-т электрон. техники (Техн. ун-т). Библиогр.:с.44-51 (62 назв.)
ГРНТИ : 47.33.41
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
20.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР99-3421
Автор(ы) : Мучинский А.Н.
Заглавие : Численное моделирование диффузионных процессов в полупроводниках и электролитах
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.13.18
Выходные данные : Минск, 1998
Колич.характеристики :19 с.
Примечания : В надзаг. :Белорус. гос. ун-т. Библиогр.:с. 15-16(17 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31 + 29.17.29
УДК : 621.3.049.77.002(043) + 541.135.2:532.72(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
21.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР01-2792
Автор(ы) : Семенова О.В.
Заглавие : Прецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.03.01
Выходные данные : Красноярск, 2000
Колич.характеристики :23 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с. 21-23(20 назв.)
ГРНТИ : 47.14.07
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
22.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР01-3400
Автор(ы) : Сосунов А.Г.
Заглавие : Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07
Выходные данные : М., 2000
Колич.характеристики :24 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. :Моск.гос.ин-т электрон.техники. Библиогр.:с. 23-24 (5 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
23.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР91-01670
Автор(ы) : Шурдук Б.К.
Заглавие : Создание геттерирующих слоев на кремниевых пластинах методом химического травления нарушенного слоя кремния и их использование в технологии полупроводниковых ИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.17.01
Выходные данные : М., 1990
Колич.характеристики :19 с.
Примечания : В надзаг. :Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики. Библиогр.:с. 17-19(17 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
24.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-025474
Автор(ы) : Новик А.В.
Заглавие : Фотохимические методы формирования пленок двуокиси кремния
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : Минск, 1990
Колич.характеристики :16 с.
Примечания : В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 14-16(17 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31 + 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
25.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-020710
Автор(ы) : Калошкин А.Э.
Заглавие : Разработка низкотемпературного фотохимического процесса создания защитных пассивирующих покрытий интегральных схем на основе пленок нитрида кремния
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : Минск, 1990
Колич.характеристики :18 с.
Примечания : В надзаг. : Минский радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 15-18(23 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
26.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-013671
Автор(ы) : Питиримов И.М.
Заглавие : Упрочняющие технологии и материал для износостойкого инструмента ультразвуковой сварки микросоединений
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.16.01
Выходные данные : Горький, 1990
Колич.характеристики :24 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Горьк. политехн. ин-т. Библиогр.:с. 23-24(10 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11 + 81.35.13
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
27.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-025476
Автор(ы) : Райко В.А.
Заглавие : Формирование силицидов кобальта и никеля в пленочных структурах металл-пористый кремний
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : Минск, 1990
Колич.характеристики :21 с.
Примечания : В надзаг. :Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 18-21(26 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31 + 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
28.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-021439
Автор(ы) : Шевченко В.Н.
Заглавие : Дефектообразование при производстве КСДИ и разработка технологии, обеспечивающей их минимальную деформацию и повышение выхода годных
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06
Выходные данные : М., 1990
Колич.характеристики :24 с.
Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т стали и сплавов. Библиогр.:с. 23-24(10 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11 + 47.33.31
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
29.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-026083
Автор(ы) : Пилипенко В.А.
Заглавие : Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : Минск, 1990
Колич.характеристики :33 с.
Примечания : В надзаг. : АН БССР. Ин-т электроники АН БССР. Библиогр.:с. 27-3371 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
30.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар03-1377
Автор(ы) : Филипенко Н.А.
Заглавие : Геттерирование электрически активных дефектов в полупроводниковых структурах
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Таганрог, 2002
Колич.характеристики :15 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 14-15
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных