Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
в найденном
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77.002(043)<.>)
Общее количество найденных документов : 36
Показаны документы с 1 по 30
 1-30    31-36 
1.
Гулидов Д.Н. Использование анизотропии свойств полуфабрикатов для оптимизации технологии кремниевых ИС. - 1992
2.
Квасов Н.Т. Динамические явления и твердофазные релаксационные процессы в кремнии при ионных и фотонных воздействиях. - 1992
3.
Ророкин В.М. Разработка бесщелочного стекла и технологии эмалированных титановых подложек для микроэлектроники. - 1993
4.
Журавлев А.В. Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур. - 1993
5.
Голубев В.В. Исследование и разработка методов повышения эффективности контроля качества и надежности при производстве интегральных микросхем. - 1993
6.
Кононов В.Ю. Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС. - 1993
7.
Эмексузян В.М. Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии. - 1993
8.
Суетин Н.В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии. - 1993
9.
Крупенников О.Г. Повышение эффективности операции разрезания заготовок из полупроводниковых и диэлектрических материалов на пластины алмазными отрезными кругами. - 1994
10.
Ухов А.А. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур/А. А. Ухов. - 1995
11.
Левенец В.В. Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот. - 1994
12.
Поляков В.В. Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений. - 1995
13.
Громов Д.Г. Исследование и разработка технологии получения термостабильных слабопроникающих контатктных систем кремниевых ИС. - 1996
14.
Хамаев В.А. Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике. - 1996
15.
Суворинов А.В. Развитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники. - 1998
16.
Бутусов И.Ю. Неразрушающий электрический контроль структур SiO -Si в производстве МОП-транзисторов и МОП БИС. - 1998
17.
Резникова Е.Ф. Химическое осаждение металлических пленочных микроструктур из паров летучих соединений металлов с помощью мощного высокочастотного наносекундного импульсного ультрафиолетового лазера. - 1998
18.
Крылов В.П. Электрофизика статистических и релаксационных процессорных средств параметрического контроля интегральных микросхем. - 1998
19.
Зайцев Н.А. Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO в производстве кремниевых микросхем. - 1994
20.
Мучинский А.Н. Численное моделирование диффузионных процессов в полупроводниках и электролитах. - 1998
21.
Семенова О.В. Прецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза. - 2000
22.
Сосунов А.Г. Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки. - 2000
23.
Шурдук Б.К. Создание геттерирующих слоев на кремниевых пластинах методом химического травления нарушенного слоя кремния и их использование в технологии полупроводниковых ИС. - 1990
24.
Новик А.В. Фотохимические методы формирования пленок двуокиси кремния. - 1990
25.
Калошкин А.Э. Разработка низкотемпературного фотохимического процесса создания защитных пассивирующих покрытий интегральных схем на основе пленок нитрида кремния/А. Э. Калошкин. - 1990
26.
Питиримов И.М. Упрочняющие технологии и материал для износостойкого инструмента ультразвуковой сварки микросоединений. - 1990
27.
Райко В.А. Формирование силицидов кобальта и никеля в пленочных структурах металл-пористый кремний. - 1990
28.
Шевченко В.Н. Дефектообразование при производстве КСДИ и разработка технологии, обеспечивающей их минимальную деформацию и повышение выхода годных. - 1990
29.
Пилипенко В.А. Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем. - 1990
30.
Филипенко Н.А. Геттерирование электрически активных дефектов в полупроводниковых структурах. - 2002
 1-30    31-36 
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)