Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77-047.84:776(043)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-23490
Автор(ы) : Полищук Г.С.
Заглавие : Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07
Выходные данные : СПб., 2011
Колич.характеристики :21 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 21 (5 назв.). - В надзаг.:С.-Петербург. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.77-047.84:776(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--микроскопы--оптические системы
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)