Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77-047.84(043)<.>)
Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3
1.
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-18586
Автор(ы) : Зырянов С.М.
Заглавие : Модификация нанопористых диэлектрических материалов в плазме и ее послесвечении : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08
Выходные данные : М., 2010
Колич.характеристики :23 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 22-23
ГРНТИ : 47.13.13
УДК : 621.3.049.77-047.84(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
2.
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-5184
Автор(ы) : Давлятшина А.А.
Заглавие : Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HCI и его смесей с азотом и кислородом : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.04
Выходные данные : Иваново, 2013
Колич.характеристики :16 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 16 (7 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы--плазмохимическое травление--контроль параметров плазмы
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
3.
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар14-12687
Автор(ы) : Фадеев А.В.
Заглавие : Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2014
Колич.характеристики :22 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 20-22
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы--низкотемпературная плазма--эмиссионная томография
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)