Поисковый запрос: (<.>R=47.13.35$<.>) |
Общее количество найденных документов : 25
Показаны документы с 1 по 25 |
1. 
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-1282
Автор(ы) : Масычев В.И.
Заглавие : Разработка лазерного технологического оборудования управляемого объемного и поверхностного нагрева материалов электронной техники
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07
Выходные данные : М., 1997
Колич.характеристики :43 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с.33-37(50 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.384.002:621.373.826(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР99-4041
Автор(ы) : Жариков В.М.
Заглавие : Исследование физических процессов взаимодействия излучения лазера на парах меди с материалами электронной техники и разработка технологии их прецизионной обработки
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.03.07
Выходные данные : М., 1999
Колич.характеристики :16 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с. 15-16 (13 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.384.002:621.373.826(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР00-1171
Автор(ы) : Большепаев О.Ю.
Заглавие : Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06
Выходные данные : М., 1999
Колич.характеристики :16 с
Примечания : Библиогр.:с. 15-16(6назв.)
ГРНТИ : 47.13.35 + 59.13.15
УДК : 621.384.002:621.373.826(043) + 681.2.002:621.373.826(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР02-1304
Автор(ы) : Калитеевская Н.А.
Заглавие : Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10
Выходные данные : СПб., 2001
Колич.характеристики :22 с.
+ 100 экз.
Примечания : В надзаг.: Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе РАН. Библиогр.: с. 21-22(8 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР02-9203
Автор(ы) : Прудник А.М.
Заглавие : Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01
Выходные данные : Минск, 2002
Колич.характеристики :21 с.:
ил.
Примечания : В надзаг.: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". Библиогр.: с.1718 (17 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР91-07017
Автор(ы) : Абрамишвили А.Д.
Заглавие : Кристаллизация твердых растворов селенида свинца-селенида олова из паровой фазы под воздействием лазерного излучения
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10
Выходные данные : Л., 1991
Примечания : В надзаг. : Ленинград. электротехн. ин-т им.В.И.Ульчнова(Ленина). Библиогр.:с. 14-16(18 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.383.002.3(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР91-03116
Автор(ы) : Горбаренко В.А.
Заглавие : Активные оптические системы лазерных технологических установок для обработки и визуального контроля
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07
Выходные данные : М., 1991
Колич.характеристики :40 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 22-24(33 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.38.002.5(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-08322
Автор(ы) : Кияк С.Г.
Заглавие : Модификация поверхности полупроводников лазерными импульсами миллисекундного и секундного диапазонов
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10
Выходные данные : М., 1990
Колич.характеристики :32 с.:
8 с. ил.
Примечания : В надзаг. : АН СССР. Физико-технол. ин-т. Библиогр.:с. 27-32
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.315.592.002:621.373.8(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-026176
Автор(ы) : Новрузов В.Д.
Заглавие : Влияние лазерного излучения на фотоэлектрические свойства Cu S-CdS гетероструктур
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10
Выходные данные : Баку, 1990
Колич.характеристики :21 с.
Примечания : В надзаг. : АН АзССР. Ин-т физики. Библиогр.:с. 20-21(12 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.315.592.9.002:621.373.826(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-013610
Автор(ы) : Левин А.Ю.
Заглавие : Разработка экспресс-методик контроля и оптимизации процесса ионной имплантации малых доз в производстве СБИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : Воронеж, 1990
Колич.характеристики :20 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Воронеж. гос. ун-т им.Ленин. комсомола. Библиогр.:с. 19-20(13 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.771.14.002:669.046.516(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
11.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-020193
Автор(ы) : Новиков А.А.
Заглавие : Физико-химические основы синтеза медь-фосфатных стеклообразных покрытий при воздействии лазерного излучения
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени Л.
Выходные данные : Л., 1990
Колич.характеристики :40 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Ленингр. технол. ин-т им.Ленсовета. Библиогр.:с. 34-40(54 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.315.592-416.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
12.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар03-1751
Автор(ы) : Шахно Е.А.
Заглавие : Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка
: автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.03
Выходные данные : Спб., 2002
Колич.характеристики :28 с.
Примечания : В надзаг.: С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (Техн. ун-т). Библиогр.: с. 26-28(36 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.772.002:621.373.826(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
13.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар06-сф91
Автор(ы) : Давыдов Н.Н.
Заглавие : Научные основы совершенствования радиационно-лазерных систем испытания, обработки и контроля изделий электронного производства
: автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.13.01
Выходные данные : Владимир, 2004
Колич.характеристики :32 с:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 28-32(66 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.384.002:621.373.826(043)
Экземпляры :СФ(1)
Свободны : СФ(1)
Найти похожие
|
14.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар07-1141
Автор(ы) : Пестов А.Е.
Заглавие : Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01
Выходные данные : Н. Новгород, 2006
Колич.характеристики :18 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 15-18.
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.77.002:776(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
15.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар07-8678
Автор(ы) : Наумов А.С.
Заглавие : Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14
Выходные данные : М., 2007
Колич.характеристики :19 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16-19(23 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.382.002:621.373.826(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
16.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар07-10293
Автор(ы) : Гонов С.Ж.
Заглавие : Особенности воздействия милли- и наносекундного лазерного излучения на полупроводниковые материалы твердотельной электроники
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Нальчик, 2007
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (16 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.382.002:621.373.826(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
17.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-10207
Автор(ы) : Новоселов А.Р.
Заглавие : Исследование возможности создания мозаичных фотоприемников без потерь информации в изображении
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Новосибирск, 2011
Колич.характеристики :23 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21-23 (15 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.383.5-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотоприемники--производство--мозаичный принцип--повреждения--лазерное скрайбирование--оптимальные режимы--уменьшение зоны повреждения--тепловизоры
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
18.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-11622
Автор(ы) : Малыхин Е.М.
Заглавие : Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм)
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08
Выходные данные : М., 2011
Колич.характеристики :24 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 23-24
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оптическая литография--ультрафиолетовое излучение--интегральные схемы сверхбольшие--литографы--многослойные зеркала--срок службы--загрязнение--очистка--физические механизмы--взаимодействие плазмы с поверхностью
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
19.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-23490
Автор(ы) : Полищук Г.С.
Заглавие : Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07
Выходные данные : СПб., 2011
Колич.характеристики :21 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21 (5 назв.). - В надзаг.:С.-Петербург. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.77-047.84:776(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--микроскопы--оптические системы
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
20.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-14659
Автор(ы) : Хлызов В.А.
Заглавие : Разработка системы управления и автоматизация технологического процесса лазерного управляемого термораскалывания на промышленных установках
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14
Выходные данные : М., 2012
Колич.характеристики :19 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 19 (5 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35 + 50.10.29
УДК : 621.382-047.84(043) + 004.353'1(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--оптоэлектроника--технология лазерного управляемого термораскалывания--кремниевые пластины--разделение на чипы--стекла дисплейных панелей
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
21.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-16303
Автор(ы) : Корчагина Т.Т.
Заглавие : Формирование нанокристаллов кремния в диэлектрических пленках при импульсных лазерных воздействиях
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10
Выходные данные : Новосибирск, 2012
Колич.характеристики :17 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16-17
ГРНТИ : 47.09.31 + 47.13.35
УДК : 621.315.61-416(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диэлектрические пленки--лазерная обработка--формирование нанокластеров кремния--наноэлектроника--оптоэлектроника
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
22.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-20278
Автор(ы) : Браташов Д.Н.
Заглавие : Действие лазерного излучения высокой плотности мощности на состав и морфологию поверхности органических и композитных материалов оптоэлектроники
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.05, 05.27.01
Выходные данные : Саратов, 2012
Колич.характеристики :22 с.:
ил
Примечания : 21-22Библиогр.: с.
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.383-047.56(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оптоэлектронные приборы--производство--обработка лазерным лучом
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
23.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-11923
Автор(ы) : Сафонов С.В.
Заглавие : Влияние свойств лиганда, восстановителя и поверхностно-активного вещества на процесс лазерно-индуцированного осаждения меди из раствора
: автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.01
Выходные данные : СПб., 2013
Колич.характеристики :23 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21-23 (18 назв.). - В надзаг.: С.-Петербург. гос. ун-т
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.76:621.793(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные приборы--металлизация
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
24.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-12445
Автор(ы) : Саврук Е.В.
Заглавие : Структура и свойства поликристаллического альфа-Al2O3, модифицированного мощным лазерным излучением
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07
Выходные данные : Томск, 2013
Колич.характеристики :22 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 20-22 (17 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.77:621.373.826(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы--производство--обработка лазерная
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
25.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар14-8048
Автор(ы) : Хуинь Конг Ту
Заглавие : Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний - диоксид кремния
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.03
Выходные данные : СПб., 2014
Колич.характеристики :23 с.
Примечания : Библиогр.: с. 21-23 (21 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.315.592.9:621.373.826(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры--обработка лазерная
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных