Поисковый запрос: (<.>R=47.13.35$<.>) |
Общее количество найденных документов : 25
Показаны документы с 1 по 25 |
>1. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР02-9203
Прудник, А. М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник. - Минск, 2002. - 21 с. : ил. В надзаг.: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". Библиогр.: с.1718 (17 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>2. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар12-16303
Корчагина, Т. Т. Формирование нанокристаллов кремния в диэлектрических пленках при импульсных лазерных воздействиях [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / Т. Т. Корчагина. - Новосибирск, 2012. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17
Кл.слова (ненормированные): диэлектрические пленки -- лазерная обработка -- формирование нанокластеров кремния -- наноэлектроника -- оптоэлектроника
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>3. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР90-020193
Новиков, А. А. Физико-химические основы синтеза медь-фосфатных стеклообразных покрытий при воздействии лазерного излучения [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени Л. / А. А. Новиков. - Л., 1990. - 40 с. : ил. В надзаг. : Ленингр. технол. ин-т им.Ленсовета. Библиогр.:с. 34-40(54 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>4. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар03-1751
Шахно, Е. А. Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.03 / Е. А. Шахно. - Спб., 2002. - 28 с. В надзаг.: С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (Техн. ун-т). Библиогр.: с. 26-28(36 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>5. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар13-12445
Саврук, Е. В. Структура и свойства поликристаллического альфа-Al2O3, модифицированного мощным лазерным излучением [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / Е. В. Саврук. - Томск, 2013. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22 (17 назв.)
Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- производство -- обработка лазерная
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>6. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР90-013610
Левин, А. Ю. Разработка экспресс-методик контроля и оптимизации процесса ионной имплантации малых доз в производстве СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Ю. Левин. - Воронеж, 1990. - 20 с. : ил. В надзаг. : Воронеж. гос. ун-т им.Ленин. комсомола. Библиогр.:с. 19-20(13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>7. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар07-8678
Наумов, А. С. Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 / А. С. Наумов. - М., 2007. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-19(23 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>8. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар12-14659
Хлызов, В. А. Разработка системы управления и автоматизация технологического процесса лазерного управляемого термораскалывания на промышленных установках [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 / В. А. Хлызов. - М., 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 19 (5 назв.)
Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- оптоэлектроника -- технология лазерного управляемого термораскалывания -- кремниевые пластины -- разделение на чипы -- стекла дисплейных панелей
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>9. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР98-1282
Масычев, В. И. Разработка лазерного технологического оборудования управляемого объемного и поверхностного нагрева материалов электронной техники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / В. И. Масычев. - М., 1997. - 43 с. : ил. Библиогр.:с.33-37(50 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>10. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар07-1141
Пестов, А. Е. Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01 / А. Е. Пестов. - Н. Новгород, 2006. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-18.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>11. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар07-10293
Гонов, С. Ж. Особенности воздействия милли- и наносекундного лазерного излучения на полупроводниковые материалы твердотельной электроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / С. Ж. Гонов. - Нальчик, 2007. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (16 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>12. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар11-23490
Полищук, Г. С. Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 / Г. С. Полищук. - СПб., 2011. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 21 (5 назв.) В надзаг.:С.-Петербург. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики
Кл.слова (ненормированные): фотолитография -- микроскопы -- оптические системы
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>13. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар06-сф91
Давыдов, Н. Н. Научные основы совершенствования радиационно-лазерных систем испытания, обработки и контроля изделий электронного производства [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.13.01 / Н. Н. Давыдов. - Владимир, 2004. - 32 с : ил. - Библиогр.: с. 28-32(66 назв.)
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
>14. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР90-08322
Кияк, С. Г. Модификация поверхности полупроводников лазерными импульсами миллисекундного и секундного диапазонов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / С. Г. Кияк. - М., 1990. - 32 с. : 8 с. ил. В надзаг. : АН СССР. Физико-технол. ин-т. Библиогр.:с. 27-32
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>15. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР91-07017
Абрамишвили, А. Д. Кристаллизация твердых растворов селенида свинца-селенида олова из паровой фазы под воздействием лазерного излучения [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. Д. Абрамишвили. - Л., 1991 В надзаг. : Ленинград. электротехн. ин-т им.В.И.Ульчнова(Ленина). Библиогр.:с. 14-16(18 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>16. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР99-4041
Жариков, В. М. Исследование физических процессов взаимодействия излучения лазера на парах меди с материалами электронной техники и разработка технологии их прецизионной обработки [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.03.07 / В. М. Жариков. - М., 1999. - 16 с. : ил. Библиогр.:с. 15-16 (13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>17. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР00-1171
Большепаев, О. Ю. Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / О. Ю. Большепаев. - М., 1999. - 16 с. Библиогр.:с. 15-16(6назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>18. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар14-8048
Хуинь Конг Ту Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний - диоксид кремния [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.03 / Хуинь Конг Ту. - СПб., 2014. - 23 с. - Библиогр.: с. 21-23 (21 назв.). - 100 экз.
Кл.слова (ненормированные): кремниевые структуры -- обработка лазерная
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>19. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар11-10207
Новоселов, А. Р. Исследование возможности создания мозаичных фотоприемников без потерь информации в изображении [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. Р. Новоселов. - Новосибирск, 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (15 назв.)
Кл.слова (ненормированные): фотоприемники -- производство -- мозаичный принцип -- повреждения -- лазерное скрайбирование -- оптимальные режимы -- уменьшение зоны повреждения -- тепловизоры
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>20. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар12-20278
Браташов, Д. Н. Действие лазерного излучения высокой плотности мощности на состав и морфологию поверхности органических и композитных материалов оптоэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.05, 05.27.01 / Д. Н. Браташов. - Саратов, 2012. - 22 с. : ил. - 21-22Библиогр.: с.
Кл.слова (ненормированные): оптоэлектронные приборы -- производство -- обработка лазерным лучом
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>21. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар13-11923
Сафонов, С. В. Влияние свойств лиганда, восстановителя и поверхностно-активного вещества на процесс лазерно-индуцированного осаждения меди из раствора [Текст] : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.01 / С. В. Сафонов. - СПб., 2013. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (18 назв.) В надзаг.: С.-Петербург. гос. ун-т
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- металлизация
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>22. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР90-026176
Новрузов, В. Д. Влияние лазерного излучения на фотоэлектрические свойства Cu S-CdS гетероструктур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / В. Д. Новрузов. - Баку, 1990. - 21 с. В надзаг. : АН АзССР. Ин-т физики. Библиогр.:с. 20-21(12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>23. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| Ар11-11622
Малыхин, Е. М. Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / Е. М. Малыхин. - М., 2011. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24
Кл.слова (ненормированные): оптическая литография -- ультрафиолетовое излучение -- интегральные схемы сверхбольшие -- литографы -- многослойные зеркала -- срок службы -- загрязнение -- очистка -- физические механизмы -- взаимодействие плазмы с поверхностью
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>24. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР02-1304
Калитеевская, Н. А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская. - СПб., 2001. - 22 с. + 100 экз. В надзаг.: Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе РАН. Библиогр.: с. 21-22(8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
>25. ![](/irbis64r_simplesite/images/printer.jpg)
| АР91-03116
Горбаренко, В. А. Активные оптические системы лазерных технологических установок для обработки и визуального контроля [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / В. А. Горбаренко. - М., 1991. - 40 с. : ил. В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 22-24(33 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|