Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=эмиссионная томография<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар14-12687
Автор(ы) : Фадеев А.В.
Заглавие : Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2014
Колич.характеристики :22 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 20-22
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы--низкотемпературная плазма--эмиссионная томография
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)