Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=улучшенная структура<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-16726
Автор(ы) : Мустафаев А.Г.
Заглавие : Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : Новочеркасск, 2011
Колич.характеристики :32 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 27-32 (67 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.315.592.9-047.56(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры--кремниевые пленки на сапфире--электрофизические параметры--технологические режимы--ионная имплантация--улучшенная структура
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)